나노급 세라믹 코팅기술 첫 개발

KIST 석현광 박사팀..반도체 장비 국산화 기여할 듯

고온에 녹인 세라믹 신소재를 부품에 코팅시켜 내구성을 획기적으로 높일 수 있는 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

이에 따라 반(反) 부식성 반도체 장비 등의 국산화 기반이 조성돼 적잖은 경제적 효과가 발생할 것으로 보인다.

한국과학기술연구원(KIST) 석현광 박사팀은 충남대 백경호 교수팀, 윈엔윈테크놀로지와 공동으로 'AYE, AYG, YYC'란 신물질을 1만5천도의 플라스마로 녹인 뒤 이를 부품 표면에 뿌려 나노 구조의 코팅막을 만드는 데 성공했다고 22일 밝혔다.

반도체 장비는 실리콘 기판(웨이퍼)을 깎는데 쓰는 부식성 기체에 노출이 돼 부품마다 특수 코팅을 해 내구성을 높여야 한다.

연구진은 실험결과 코팅막을 입힌 부품이 종전의 '이트리아' 세라믹 코팅제에 비해 경도가 2배, 긁힘 저항성은 10배, 염소계 화학 물질에 대한 내구성은 5배 가량이 증가했다고 설명했다.

석 박사는 "반도체 장비가 부식성 기체에 망가지면 불순물이 떨어지면서 생산 현장을 오염시키기 때문에 내구성은 아무리 강조해도 지나치지 않다"며 "이 기술은 고성능 반도체 장비를 국산화하는 작업에 큰 도움이 될 것"이라고 말했다.

연구진은 이 성과를 '저널 오브 메테리얼 리서치 2005' 등 국내외 주요 학술지 6곳에 발표하고 관련 특허 3건을 국내 출원했다. 해당 기술은 윈엔윈테크놀로지를 통해 올 하반기에 상용화될 예정이다.

이번 연구는 과학기술부 산하 '21세기 프론티어 나노소재기술개발사업단'의 지원을 받아 이뤄졌다.

김태균 기자 [e-mail] (서울=연합뉴스)